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メタルベローズポンプ 、 窒素発生装置 、 酸素発生装置 、 オゾン発生装置 、 水素発生装置 、 ゼロエア発生装置 |
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チェックバルブ 、 リリーフバルブ 、 減圧弁 、 背圧弁 、 リレー 、 ストップバルブ 、 トグルバルブ 、 シリンダー 、 圧力スイッチ 、 ボールバルブ 、 圧力センサー 、 ロードセル |
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マスフロー 、 流量計 、 ニードル/流量調整弁 、 流量遮断弁 、 流量スイッチ 、 エジェクター(インジェクター) 、 エアー増幅器、 電磁弁 |
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温度センサー 、 温度コントローラー 、 ヒーター 、 ホットホース 、 半導体成膜装置用ヒーター |
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継手類 、 ドライヤー 、 フィルター 、 ホース/チューブ |
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金属ガスケット 、 テフロンシ−ル 、 樹脂Oリング 、 シール/パッキン加工 |
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バルブ 、 ホース/チューブ 他 |
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金属材料・加工 、
セラミックス/樹脂/ゴム 、 溶接ベローズ 、 設備機器架台等 、 伸縮継手/ジャバラ 、 製缶 |
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分析計 、 オゾン濃度計 、 ガス混合器 、 受託測定 、 空調機器 、 その他 |
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